7月9日 ，由中国集成电路创新火箭队 主办的”2022集成电路产业链协同创新发展中交流会”以六大会场加图片连线的以此同步盛大举行。来自中国集成电路全产业链各环节的优秀企业中、高校和科研院所的千余位作为参会 ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海余老师师受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业各种技术创新奖（简称“IC创新奖”） ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，拿下各种技术创新奖。
“IC创新奖”由中国集成电路创新火箭队 主办 ，面向国内外集成电路产业链上下游企事业所属单位征集 ，重点鼓励集成电路各种技术创新、成果产业化、产业链上下游合作中 ，是集成电路产业最不可或缺的各种技术奖项他成 ，多达各种技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大各种技术创新和不可或缺各种技术开发各种技术各种技术层面胜利重大突破的所属单位和大团队 。这一次摘得整体行业重磅赛事的不可或缺奖项 ，仍在彰显出东方晶源在电子束检测、量测新兴领域的各种技术超强实力和整体行业的真实高度认可。
检测是芯片制造厂商显著大幅提升良率的不可或缺不同方式。电子束检测设备它具超高精度 ，在高端芯片制造复杂过程 发挥的作用很大日渐大。截至目前 ，该类设备被国内外厂商垄断 ，他成 制约中国芯片制造自主可控的不可或缺瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，大获研声响国内外首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505 ，可提供全面完整的纳米级缺陷检测和详细分析彻底解决方案。截至截至目前并对中国头部芯片制造厂商产线验证 ，验证最后结果结果表明主要主要原因指标与国内外一线对标机台以下同等水准 ，大获彻底解决中国在电子束检测新兴领域的不可或缺各种技术彻底解决。
东方晶源在电子束检测、量测新兴领域已深耕多年并大获正式推出多款设备 ，胜利重大突破。除这一次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外 ，旗下首台12英寸不可或缺尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于从今年今年年初6月提前进入产线验证 ，截至目前重新完成成熟制程量产验证 ，图像质量清晰 ，与POR 的CD差异满足需求需求相关要求 ，性能仍在改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于从今年今年年初3月提前进入产线验证 ，截至目前尽管提前进入新客户产线小规模试产。多达 ，东方晶源还于近两天最近发布 了电子束缺陷复检设备（DR-SEM） ，截至目前该设备工程机（Alpha机）尽管并对首轮wafer demo ，也可以以满足需求需求28nm及以下把制程满足需求需求 ，Beta机集成工作会加速推进中 ，已胜利新客户订单 ，提前进入产线验证指日可待。
他成 两家聚焦集成电路良率管理新兴领域 ，以显著大幅提升芯片制造门槛为使命的半导体企业中 ，东方晶源虽然以研发创新为发展中核心 ，不停地地丰富产品一矩阵并显著大幅提升产品一性能 ，填补多项国内外空白。未来十年 ，东方晶源将仍在立足一体化该软件平台提供和检测装备两大新兴领域 ，以新客户为中心建设 ，以整体市场为导向 ，不停地地并对各种技术突破与产品一创新 ，与中国集成电路产业上下游企业中勠力同心 ，推动中国集成电路制造产业仍在高速发展中。