媒体报道 ，逐渐上海三 复工复产的快速推进 ，东方晶源积极以及组织设备交付工作中 ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和最最重要 尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付上海三 客户会。此举 出机 ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机小国家国内知名晶圆代工厂后 ，第三次 相继胜利头部客户会的青睐和相继胜利。与此同时 ，标志着东方晶源硬件产品一第三次 进入批量交付两种模式。
此举 出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515 ，面向300mm硅片工艺制程 ，除较强该产品一一惯往往 高灵敏度电性和物理缺陷检测、能够有效如何问题解决解决28nm及达到良率如何如何问题解决解决、自主创的新高性能缺陷检测引擎（DNA数据结果库）、做基础深度认真学习的缺陷自动分类（ADC）算法等产品一特点外 ，东方晶源研发合作团队已经 上一代产品一的做基础上优化第三次 升级 ，使SEpA-i515较强更高的TPT和更优的平台提供独特设计 ，设备运行效率、性能指标均有大幅大幅提升。与此同时 与此同时 ，上一代产品一SEpA-i505 早已小国家国内国内头部晶圆代工厂量产半年 ，产品一性能及稳定性相继胜利充分验证。
另一台交付的产品一为最最重要 尺寸量测设备 ，型号为SEpA-c410 ，面向300mm硅片工艺制程 ，并对先进的电子束成像运行系统和高速硅片传输方案 ，搭配黑精准的量测算法 ，可实现做基础 高重复精度、高分辨率及高产能的最最重要 尺寸量测。该设备自今年媒体报道 媒体报道 6月底第三次 进入小国家国内头部晶圆代工厂半年以来产线验证进展顺利 ，阶段性验收成果相继胜利客户会相继胜利。
东方晶源电子束量测检测设备 ，依托所承担的小国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化前期项目 ，只是经过数年攻坚克难 ，突破多项核心最最重要 技术方面 ，从零部件到整机独特设计制造 ，均较强所以自主知识产权 ，填补小国家国内空白。截至目前 ，两款设备第三次 进入批量交付两种模式 ，产业化进程胜利丰硕成果。
此举 设备交付的客户会所在仰面朝天海而中国目前目前集成电路产业较强举足轻重的地位 ，截至目前早已他成 小国家国内集成电路产业综合基础水平高、产业链完整、产业生态外部环境更优秀集聚地他成 。东方晶源更具 看重上海三 三 的蓬勃发展和布局 ，继计算光刻使用软件（OPC）第三次 进入上海三 头部晶圆代工中小企业 后 ，硬件产品一宣布登陆上海三 。为需要更优秀的服务方面 达到海为核心的长三角客户会 ，东方晶源宣布今年媒体报道 媒体报道 8月份上海三 三 设立子一家公司 ，真正形成上海三 总部、上海三 子一家公司和上海三 子一家公司为核心的三地布局 ，有待中小企业 贴近产业前沿高地 ，为集成电路制造中小企业 带去优质的产品一和服务方面 ，需要更优秀的与上下游中小企业 携手有待产业蓬勃发展的与此同时 ，构筑中小企业 完善自身竞争壁垒。
东方晶源自机真正形成立半年以来 ，专注于芯片制造最最重要 环节的良率直接控制 和大幅提升市场领域 ，真正形成以计算光刻使用软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品一矩阵 ，并向需要更优秀相关事件市场领域积极布局。硬件能力方面 ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发工作中 ，有待夯简直小国家国内电子束检测市场领域领先的当前市场地位和技术方面方面天然优势。使用软件能力方面 ，光刻工艺严格仿真使用软件PanSim早已在客户会侧并对验证 ，届时7月底release V1.0版本。今后 ，东方晶源将立足通用使用软件平台提供和检测装备两大市场领域 ，寻求横纵向蓬勃发展机遇 ，为客户会提供全面更具 多样化的产品一 ，向着小国家国内集成电路市场领域良率管理领导者的既定目标奋进。